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中科院5nm激光光刻技术 是不是预示着荷兰ASML将被我们取代?

时间:2021-06-16 13:53:56

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中科院5nm激光光刻技术 是不是预示着荷兰ASML将被我们取代?

【中科院5nm激光光刻技术,是不是预示着荷兰ASML将被我们取代?】

我们一直有这样的一种构想,我们的光刻机技术,能否将荷兰ASML的光刻机取代呢?然后,这种构想,在中科院5nm激光光刻技术的研究发布以后,似乎变得越发肯定。

但是,事实真的如此?我们真的能够取代荷兰ASML吗?带着这个疑问,我们一起来看一下。

首先,这个消息的来源是——

中国科学张子旸研究员和与国家纳米科学中心刘前研究员合作,在《纳米快报》上发表了题为《超分辨率激光光刻技术制备 5nm 间隙电极和阵列》的研究论文。

这篇论文主要让我们关注的就是,通过使用新型 5 nm 超高精度激光光刻加工方法。注意,这种方法是不是已经完全具有现实可行性?我们并不可知。

但是,我们国内的一些媒体听风就是雨,突然觉得我们似乎在光刻机技术方面有了突破,我们能够取代ASML的光刻机了。在这里,我不得不泼冷水了。

在之前我看到过荷兰ASML的CEO说,即使我们将光刻机卖给你们(中国)也不怕学会了光刻机,因为,一台光刻机由80000个精密零部件构成,如德国蔡司的光学镜头、美国的激光发生器,这些都是目前我们中国目前无法制造出来的。

我们的光刻机为何难以突破,因为不仅仅是激光光刻加工方法,还包括各种零部件,包括了单晶炉,晶圆划片机,光刻胶,电子级多晶硅,氟聚酰亚胺等等。很多内容都是被国外垄断,包括日本,美国等等国家我们确实想要突破,但是有些东西,你必须要看到,我们还是在被这些技术给限制住了。

但是,我们又必须知道,我们如果不去打破这种束缚,那么我们的路,可能会更难走,这可能就是为什么,我们在看到中科院5nm相关研发论文时的激动。我们也猜测未来能够在弯道超车,这是必定,也是必然的!

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