洁净厂房工业管道标准(二）1.3 管道连接
1.3.1 工业管道的连接应符合下列规定：1 管道连接应采用焊接，热镀锌钢管应采用螺纹连接。2 不锈钢管应采用氩弧焊，以对接焊或承接焊连接；高纯气体管道宜采用内壁无斑痕的对接焊。1.3.2 管道与设备的连接应符合设备的连接要求。当采用软管连接时宜采用金属软管。1.3.3 管道与管道、管道与阀门连接的密封材料应符合下列规定：1 螺纹或法兰连接处的密封材料应根据输送物料性质、设计工况选择，宜采用聚四氟乙烯等。2 高纯气体管道与阀门连接的密封材料应按生产工艺和气体特性的要求确定，宜采用金属垫或双卡套。1.3.4 洁净室（区）内的工业管道应根据管子表面温度和环境温度、湿度确定保温形式和构造。冷管道保温后的外表面温度不应低于环境的露点温度。保温层外表面应采用不产生尘粒、微生物的材料，并应平整、光洁，宜采用金属外壳保护。
条文说明
1.3.1 工业管道的连接目前基本均采用焊接，主要是能确保管道连接的严密性。镀锌钢管一般是螺纹连接，由于施工较麻烦且严密性比焊接要难以保证，有少数单位采用焊接，它带来的问题是破坏了管道原有的镀锌层，容易生锈，焊接时出现有刺激性的异味对人体有害，而且管道内壁有脱落的镀层给吹扫带来困难并污染气体，为此本条规定镀锌钢管采用螺纹连接。不锈钢管承插焊连接的好处是便于管道对中，方便焊接，缺点是由于管道与承插件之间有间隙，产生死角，吹扫时不易吹除干净。对高纯气体要求高和严格的生产工艺会影响其产品质量，为此规定采用对接焊并要求内壁无焊缝，它是氩弧焊接时不施加不锈钢焊丝，利用焊件本身溶化填满焊缝。1.3.2 以往有些单位采用非金属软管两端加卡箍固定，优点是软管连接管道柔软，长度随意，连接方便，但由于非金属管道对气体和水的渗透性和吸附性都比金属管道差，而且易老化变形，极易造成气体渗漏影响气体质量。现在金属软管品种多、规格全、连接方式多样、使用寿命长，尤其对高纯气体不造成污染，虽价格较贵，但综合比较是合适的，为此本次修订时推荐宜采用金属软管。不同材料的管道对气体和水的渗透、吸附能力见表10。
表10 不同管道材料渗透性、吸附性比较
管道材料渗透性吸附性不锈钢无弱紫铜无对水吸附性强聚四氟乙烯很小弱真空橡胶较小强乳胶大强
1.3.3 本条规定高纯气体管道与阀门连接的密封材料采用金属垫或双卡套，具体选择要随产品生产工艺对高纯气体质量的要求和本身特性决定。金属垫这种密封形式（国外称Cajon VCR形式）严密性好、气体不渗漏和污染，通常用于高纯氢气或氦氢混合气系统以及要求气体杂质十分严格的生产工艺，如集成电路亚微米技术的前工序的各种气体管道，而干燥压缩空气管道则是采用双卡套形式。工业管道与阀门的法兰或螺纹连接处的密封材料，一般应根据管内流过的物料性质、设计工况（压力、温度等）进行选用，由于四氟乙烯材质具有较广泛的适应性，密封性能较好，为避免在洁净室（区）内因物料泄漏影响洁净生产环境，所以推荐使用。1.3.4 由于洁净厂房中的工业管道可能有热管道或冷管道，为避免散热和结露应对此类管道进行绝热保温，故增加本条对保温材料及外表面进行规定。
1.4 安全技术
1.4.1 下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机连锁： 1 生产类别为甲类的气体、液体入口室或分配室。 2 管廊，上、下技术夹层，技术夹道内有可燃气体的易积聚处。 3 洁净室内使用可燃气体处。1.4.2 可燃气体管道应采取下列安全技术措施：1 接至用气设备的支管宜设置阻火器。2 引至室外的放散管应设置阻火器，并应设置防雷保护设施。 3 应设导除静电的接地设施。1.4.3 氧气管道应采取下列安全技术措施： 1 管道及其阀门、附件应经严格脱脂处理。 2 应设导除静电的接地设施。1.4.4 工业管道应按不同介质设明显的标识。1.4.5 各种气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过1瓶时，气瓶可设置在洁净室内，应采取不积尘和易于清洁的措施。
条文说明
1.4.1 可燃气体和可燃气体蒸气（指甲类液体挥发产生的蒸气）易燃、易爆，危险性大，可能发生燃烧爆炸事故，而且发生事故时波及面广，危害性大，造成的损失严重，为此本条规定，在属于甲类火灾危险生产的气体、液体入口室或分配室和洁净厂房内的管廊，上、下技术夹层或技术夹道内有可燃气体（蒸气）的易积聚处或使用可燃气体的部位应设置气体报警探头。在上述场所一旦出现可燃气体泄漏达到报警浓度时，应及时发出报警信号并自动开启事故排风系统，及时将可燃气体排除，降低其浓度不会达到爆炸极限，防止燃烧爆炸事故的发生，避免国家财产损失和人员伤亡。为此，本条为强制性条文。1.4.2 为了防止可燃气体管道系统与明火直接接触以及管道系统中压力突然降低，造成倒流形成回火，所以在引至室外的可燃气体放散管上应设置阻火器，只有在接至有明火源的可燃气体用气设备的支管上也设置阻火器，才能阻止火焰蔓延至管道系统，确保安全运行；由于一些使用可燃气体的生产设备的特性要求，在接至用气设备的支管上未设阻火器，为此对本条第1、2款作了修改，并规定第2、3款为强制性条款，第1款改为推荐性条款。1.4.3 氧气是助燃性气体，在氧气中任何可燃物质的引燃温度均要大大降低，极易发生燃烧事故，为此规定了氧气管道设导除静电接地的措施，以防止由于静电产生的火花而发生燃烧事故。本条规定为强制性条文。1.4.4 由于工业管道的种类较多，按不同介质设明显的标识的目的，既是从安全角度考虑，又有便于对输送介质进行识别的需要；同时可以避免误操作引发事故，还有利于维护管理，所以本条修订改为推荐性条文。1.4.5 洁净厂房气密性好．造价高，人员集中，精密设备和仪器多，为了确保安全，气瓶应集中设置在洁净厂房外。但有些洁净室内用气量很少，为便于管理，故规定日用气量不超过一瓶(水容量40L)时，可将气瓶设置在洁净室内，为保持洁净室内的洁净度，设在洁净室内的钢瓶应采取不积尘和易于清洁的措施。本条实施中，一些单位认为量化指标（日用气量不超过一瓶）未明确规定是一种气体还是各种气体，并不宜规定如此严格。据了解，因特殊需要，在现有的一些洁净室如实验室内超过一个钢瓶，且为数量很少的几种气体的小容量钢瓶，已使用多年，只要采取必要的安全措施和做到不积尘、易于清洁，并加强管理，也是可行的，为此本次修订改为推荐性条文。
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