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你知道光刻机巨头ASML是怎么崛起的吗?光刻机行业背后的故事

时间:2018-07-01 17:35:14

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你知道光刻机巨头ASML是怎么崛起的吗?光刻机行业背后的故事

企业的发展是一个漫长的马拉松,先发不一定全是优势,也意味着,先行者惩罚,必须承担开拓的压力。尼康曾是光刻机巨头,光刻机可以说是尼康的天下,那时ASML是个名不见经传的小厂,别人吃肉,他只能喝汤,吃不饱但是也饿不死,一直不温不火,直到一次契机的出现。

我们知道光刻机是生产芯片的,原理就是用光来雕刻芯片电路图,光越细,刻的东西就越多,问题是细不下去了,怎么办,大家不停地缩短波长,但是到193纳米的时候,出现了瓶颈,想把光的波长缩短到157纳米,却发现几乎到了技术的极点,怎么也无法突破,为了攻克难关,整个半导体行业差不多都参与了进来,砸了数十亿美金,消耗了无数的人力物力,最后主要集中在两个方案,一个是尼康的稳健方案,就是在现在的技术基础上,做下升级,将现有激光升级到157纳米的f2激光,另一个是激进方案,直接采用全新的光源,跳过157纳米,直接到达10纳米级别。

但是商业是要考虑成本的,这两个方案在当时看来,要么成本太高,要么难度太大,当所有人都咬牙硬扛的时候,当时的台积电副总经理,林本坚提出了第三个天马行空的想法,能不能既不换光源也不升级,不就是把光变细吗?通过水折射一下不就细了吗?为什么一定要在空气里传播,193nm/1.4=132nm,远超157纳米,成本低,难度低,落地性高,设备无需大改,想办法把空气换成水,攻克介质难关就行了,更进一步,如果原理跑通的话,换成折射率更高的液体,理论上还能继续变细,可扩展性也非常的好。

这下很多人就不开心了,这就好比一群攀岩高手们咬紧牙关,你争我夺往山顶上爬,半山腰的时候体能透支,全靠意志在坚持,突然下面有人喊“哥们,这边有电梯”!攀岩者们就不高兴了,凭什么我们辛辛苦苦爬山,你按个电梯就上来了,凭什么我们投入海量人力物力,你改个介质就行了,你不要过来搅局。

于是林本坚就发表了很多,论文来消除疑虑,论证可行性,尝试说服各个大厂,采用以水为介质的方案,但基本上都被拒绝,毕竟大家没日没夜,投入了这么多,突然要作废了,改走另外一条路了,情感上不太能接受,最后只有ASML同意了,一方面他是一个小厂,掉头方便,没有那么多顾虑,巨头们都已经到半山腰了,他还在下面系鞋带,所以就试一下,万一电梯可以用呢,另一方面是利益驱动,ASML仔细分析过市场,发现搞定新技术的话,拿下两个龙头客户概率非常大,也就是说销量不用愁了,于是才决定采用。结果就是我们看到的,ASML异军突起,04年新产品研发成功,击败尼康09年ASML占据70%的份额,而尼康则变成了行业小弟,这也是ASML和光积电关系好的原因。

光刻机巨头ASML的崛起故事告诉我们,船越大,内部阻力就越大,临时掉头就越难,自我革命就越不可能,从来没有人规定,技术的赛道必须得是一维的,追赶一定要尾随,看得见的对手不可怕,可怕的是看不见的对手,有如刺客,意识到危险的时候往往已经就来不及了。

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