本揭示涉及显示制造技术领域，尤其涉及一种干燥装置。
背景技术：
目前制造oled面板主要有两种方式，一种是蒸镀技术，另一种是喷墨打印。最后经过干燥的工序去除溶剂之后，就可以完成oled材料的印刷。
为了保证材料的膜层均一性，需要进行预干燥和后干燥的等多步干燥过程。考虑到膜层的铺展均匀性，往往采用真空式的冷凝干燥模式。然而在这种模式中，冷凝器上方会存在溶剂挥发凝结堆积的问题。墨滴积累后会滴落至基板表面，影响材料的器件性能，同时也会出现边缘干燥快和内部干燥慢的干燥速率不同的现象，影响材料的膜层均一性的问题。故，有必要改善这一缺陷。
技术实现要素：
本揭示实施例提供一种干燥装置，用于解决现有技术的干燥装置，由于溶剂挥发后会在冷凝器上方汇聚形成液滴，液滴积累后会滴落至基板表面，导致基板被污染，影响器件性能，以及现有技术的干燥装置的干燥速率不同，边缘干燥快、内部干燥慢，影响材料的膜层均一性的技术问题。
本揭示实施例提供一种干燥装置，包括容纳腔、以及位于所述容纳腔内的底盘、冷板以及抽气阀门。所述底盘用于盛放基板。所述冷板设置于所述底盘上方且与所述底盘相对设置，所述冷板的面积大于所述底盘的面积。所述抽气阀门设置于所述底盘周围，用于排出所述容纳腔内部的气体。其中，所述冷板上涂有亲油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料环绕所述亲油性材料，且所述底盘在所述冷板上的投影区域对应所述亲油性材料。
进一步的，所述冷板为弧形，相对于所述底盘，所述弧形中央高、边缘低。
进一步的，所述弧形的弧度范围为0.01弧度至0.2弧度。
进一步的，所述亲油性材料为含有酯基、醚、酰胺基团的高分子材料，或者为聚硅氧烷。
进一步的，所述疏油性材料为含有羧基、磺酸基、磷酸基基团的高分子材料。
进一步的，所述底盘上设置有至少三个支撑销，用于支撑所述基板。
进一步的，所述支撑销等间距分布。
进一步的，所述底盘为四边形，所述抽气阀门的数量至少为4个，分别对应所述底盘的四边设置。
进一步的，所述抽气阀门等间距分布。
进一步的，所述抽气阀门的阀门孔直径范围为10毫米至100毫米。
有益效果:本揭示实施例提供的一种干燥装置，通过在冷板上涂布亲油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料环绕所述亲油性材料，一方面避免了冷凝气在冷板中间区域凝结后滴落污染基板；另一方面使气体在边缘分布，饱和蒸汽压变大，互补边缘蒸发快的缺点，保证溶剂均匀蒸发；通过在底盘的周围设置抽气阀门，即采用四周抽气的方式使溶剂从边缘流走，可以避免污染基板。
附图说明
为了更清楚地说明本揭示实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本揭示的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本揭示实施例提供的干燥装置侧视示意图。
图2是本揭示实施例提供的冷板下表面示意图。
图3是本揭示实施例提供的干燥装置的下腔体俯视示意图。
具体实施方式
下面将结合本揭示实施例中的附图，对本揭示实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本揭示一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本揭示中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本揭示保护的范围。
如图1所示，本揭示实施例提供的干燥装置侧视示意图，从图中可以很直观地看到本揭示的各组成部分，以及各组成部分之间的相对位置关系，所述干燥装置包括容纳腔101、以及位于所述容纳腔101内的底盘102、冷板104以及抽气阀门105。所述底盘102用于盛放基板103。所述冷板104设置于所述底盘102上方且与所述底盘102相对设置，所述冷板104的面积大于所述底盘102的面积。所述抽气阀门105设置于所述底盘102周围，用于排出所述容纳腔101内部的气体。其中，所述冷板104上涂有亲油性材料106及疏油性材料107，所述疏油性材料107环绕所述亲油性材料106，且所述底盘102在所述冷板104上的投影区域对应所述亲油性材料106。
需要说明的是，所述冷板104的下表面涂布有亲油性材料106和疏油性材料107且按区域分布，由于蒸发的溶剂具有一定的亲油性，冷板104中心位置选择亲油性材料106涂覆可以保证溶剂在其表面均匀分布不容易汇聚成液滴；冷板104边缘位置采用疏油性材料107涂覆可以使得液滴容易凝聚，即一方面避免了冷凝气在冷板中间区域凝结后滴落污染基板；另一方面冷板104边缘凝聚的液滴使溶剂蒸汽在冷板104边缘分布，使蒸汽压接近饱和蒸汽压，在其他条件相同的情况下，蒸气压压力越小蒸发量越大，压力越大蒸发量越小，成反比关系，边缘的蒸气压压力增大后，基板103边缘上的溶剂液体内部分子间作用力增大，减慢了蒸发速度，蒸发量也下降，即可以互补溶剂在基板103边缘蒸发快的缺点，保证基板103上的溶剂均匀蒸发。按照表面涂层的分布特点，通过在底盘102的周围设置抽气阀门105，即采用四周抽气的方式使溶剂从边缘流走，可以避免污染基板。
具体地，所述亲油性材料106的涂布面积大于或者等于所述底盘102的面积，或者所述亲油性材料106的涂布面积大于或者等于放置于所述底盘102上的基板103的面积，所述亲油性材料106可以保证溶剂在其表面均匀分布不容易汇聚成液滴，当所述亲油性材料106的涂布面积大于或者等于基板103的面积，能避免冷凝气在冷板中间区域凝结后滴落污染基板103。
在一种实施例中，所述容纳腔101内部为真空状态，所述容纳腔101的尺寸可以为但不仅限于：长度范围为1至2米、宽度范围为1至2米、高度范围为0.2至0.5米。本揭示所提到的真空状态均表示局部真空而非绝对真空。
在一种实施例中，所述容纳腔101的材质为厚镀层热镀锌板，镀锌的主要目的是保护基层金属免受腐蚀，装置的寿命和镀锌的厚度直接相关。
在一种实施例中，所述底盘102的材质可以为但不仅限于不锈钢、陶瓷材料等材料，所述底盘102的控温范围为25摄氏度至80摄氏度。
在一种实施例中，所述底盘102上设置有至少三个支撑销108，用于支撑所述基板103。
在一种实施例中，所述支撑销108等间距分布。
在一种实施例中，所述冷板104的材质可以为但不仅限于不锈钢、陶瓷材料、高分子复合材料等材料，所述冷板104的控温范围为零下10摄氏度至零下60摄氏度。
在一种实施例中，所述冷板104的冷却介质可以为冷却水、冷却液、冷却气等，可以为其中一种或数种组合。
在一种实施例中，所述冷板104与所述底盘102之间的间距可调，调节范围为3毫米至200毫米。
在一种实施例中，所述冷板104的周长比所述底盘102的周长长2厘米至15厘米之间的任一值。
在一种实施例中，所述冷板104为弧形，相对于所述底盘102，所述弧形中央高、边缘低。当面板置于所述干燥装置的容纳腔内进行干燥时，由于所述冷板有一定的弧度，蒸发的溶剂凝结后，因重力的缘故会由中央向边缘流动，不会滴落至面板表面，不会影响面板的器件性能。
在一种实施例中，所述弧形的弧度范围为0.01弧度至0.2弧度。
如图2所示，本揭示实施例提供的冷板下表面示意图，从图中可以很直观地看到本揭示的各组成部分，以及各组成部分之间的相对位置关系，所述冷板201上涂有亲油性材料202及疏油性材料203，所述疏油性材料203环绕所述亲油性材料202。
其中，所述亲油性材料202的区域对应于干燥装置的底盘所在位置，所述亲油性材料202的涂布面积大于或者等于所述底盘的面积。
需要说明的是，由于蒸发的溶剂具有一定的亲油性，在亲油性材料202区域内，溶剂会在其表面均匀分布且不容易汇聚成液滴；在疏油性材料203区域内，溶剂更容易凝聚。
在一种实施例中，所述亲油性材料202为含有酯基、醚、酰胺基团的高分子材料，或者为聚硅氧烷。
在一种实施例中，所述疏油性材料203为含有羧基、磺酸基、磷酸基基团的高分子材料。
如图3所示，本揭示实施例提供的干燥装置的下腔体俯视示意图，从图中可以很直观地看到本揭示的各组成部分，以及各组成部分之间的相对位置关系，所述下腔体301上设置有底盘302，所述底盘302上设置有至少三个支撑销(图中未示出)，所述支撑销用于支撑所述基板303，所述底盘周围设置有抽气阀门304，所述抽气阀门304用于排出容纳腔内部的气体。
在一种实施例中，所述底盘302为四边形，所述抽气阀门304的数量至少为4个，分别对应所述底盘302的四边设置。
需要说明的是，所述底盘302的形状不仅可以为四边形，还可以为三角形、圆形、扇形、五边形等；所述抽气阀门的数量可以为但不仅限于6至8个。
在一种实施例中，所述抽气阀门304等间距分布。
在一种实施例中，所述抽气阀门304的阀门孔直径范围为10毫米至100毫米，10毫米至50毫米之间更佳。
真空干燥装置是在真空状态下，提供热源，通过热传导、热辐射等传热方式供给物料中溶剂足够的热量，使蒸发和沸腾同时进行，加快汽化速度。同时，抽真空又快速抽出汽化的蒸汽，并在物料周围形成负压状态，物料的内外层之间及表面与周围介质之间形成较大的湿度梯度，加快了汽化速度，达到快速干燥的目的。
本揭示提供一种基板的干燥方法，使用上述的干燥装置，包括步骤：
第一步：在玻璃基板放入至腔室前，调整底盘和冷板之间的距离，并将所述底盘和所述冷板分别调整至指定的温度，此时抽气阀门处于关闭状态；
第二步：将腔门打开，放入基板，调整底盘与冷板之间的距离，打开抽气阀门，使腔内维持低温真空状态，进行干燥过程；
第三步：控制抽气管路打开，将边缘溶剂抽下避免汇聚滴落至基板表面。
需要说明的是，第一步中，调整底盘与冷板之间的距离具体指的是将底盘与冷板之间的距离调大，使得基板能更好的放入；将所述底盘和所述冷板分别调整至指定的温度具体指的是：将所述底盘的温度调整至25摄氏度至80摄氏度之间的任一值，将所述冷板的温度调整至零下10摄氏度至零下60摄氏度之间的任一值。
需要说明的是，第二步中，调整底盘与冷板之间的距离具体指的是将底盘与冷板之间的距离调小，使得冷凝气更容易与冷板相接触，加快干燥速率；干燥过程中，面板内的溶剂气化后会在亲油性材料区域内平铺，在疏油性材料区域内汇聚。
需要说明的是，第三步中，采用四周抽气的方式使溶剂从边缘流走，可以避免污染基板。
综上所述，本揭示实施例提供的一种干燥装置，通过在冷板上涂布亲油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料环绕所述亲油性材料，一方面避免了冷凝气在冷板中间区域凝结后滴落污染基板；另一方面使气体在边缘分布，饱和蒸汽压变大，互补边缘蒸发快的缺点，保证溶剂均匀蒸发；通过在底盘的周围设置抽气阀门，即采用四周抽气的方式使溶剂从边缘流走，可以避免污染基板，解决了现有技术的干燥装置，由于溶剂挥发后会在冷凝器上方汇聚形成液滴，液滴积累后会滴落至基板表面，导致基板被污染，影响器件性能，以及现有技术的干燥装置的干燥速率不同，边缘干燥快、内部干燥慢，影响材料的膜层均一性的技术问题。
以上对本揭示实施例所提供的一种干燥装置进行了详细介绍。应理解，本文所述的示例性实施方式应仅被认为是描述性的，用于帮助理解本揭示的方法及其核心思想，而并不用于限制本揭示。
技术特征：
1.一种干燥装置，其特征在于，包括容纳腔、以及位于所述容纳腔内的：
底盘，所述底盘用于盛放基板；
冷板，所述冷板设置于所述底盘上方且与所述底盘相对设置，所述冷板的面积大于所述底盘的面积；
抽气阀门，所述抽气阀门设置于所述底盘周围，用于排出所述容纳腔内部的气体；
其中，所述冷板上涂有亲油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料环绕所述亲油性材料，且所述底盘在所述冷板上的投影区域对应所述亲油性材料。
2.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述冷板为弧形，相对于所述底盘，所述弧形中央高、边缘低。
3.如权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述弧形的弧度范围为0.01弧度至0.2弧度。
4.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述亲油性材料为含有酯基、醚、酰胺基团的高分子材料，或者为聚硅氧烷。
5.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述疏油性材料为含有羧基、磺酸基、磷酸基基团的高分子材料。
6.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述底盘上设置有至少三个支撑销，用于支撑所述基板。
7.如权利要求6所述的干燥装置，其特征在于，所述支撑销等间距分布。
8.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述底盘为四边形，所述抽气阀门的数量至少为4个，分别对应所述底盘的四边设置。
9.如权利要求8所述的干燥装置，其特征在于，所述抽气阀门等间距分布。
10.如权利要求8所述的干燥装置，其特征在于，所述抽气阀门的阀门孔直径范围为10毫米至100毫米。
技术总结
本揭示提供一种干燥装置。所述干燥装置包括容纳腔以及位于所述容纳腔内的底盘、冷板以及抽气阀门。所述冷板设置于所述底盘上方且与所述底盘相对设置。本揭示通过在所述冷板上涂布亲油性材料及疏油性材料，所述疏油性材料环绕所述亲油性材料，且所述底盘在所述冷板上的投影区域对应所述亲油性材料，避免冷凝气凝结后滴落污染基板；且互补边缘蒸发快的缺点，保证溶剂均匀蒸发。
技术研发人员：宋媛媛
受保护的技术使用者：深圳市华星光电技术有限公司
技术研发日：.10.16
技术公布日：.02.28
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