1.定位精度
精度方面直线电机传动机构鉴定减少了插补滞后的问题，定位精度、重现精度、绝对精度，通过位置检测反馈控制都会较“旋转电机+滚珠丝杆”高，且容易实现.
2.重复精度对比
直线电机机构简单，减少插补滞后的问题，相反银丝杆的间隙容易产生影响，所以直线电机更容易实现。
3.速度比较
一般伺服电机由于离心力的作用，高速运作时，将受到较大应力，因此转速和输出功率受到限制。相对而言，直线电机不受限制，机械损耗也较少，从而提高传动速度。
4.行程对比
从行程来看，直线电机的行程取决于定子和动子，理论来说直线电机行程可以无限延长；而伺服电机+丝杆由于承受负载、丝杆外径、精度等级等因素的影响，通常只能达到4M的长度。
5.维护简单
直线电机部件少，运动机械无接触，很少甚至无需维护。伺服电机丝杆结构多，部件多，需经常维护或更换配件。
6.寿命对比
直线电机：直线电机因运动部件和固定部件间无直接接触，不会因动子的高速运动而磨损即使长时间运用对运动精度无变化，故寿命更长。
伺服电机+丝杆：滚珠丝杆因高速运动造成传动部件的磨损，同时无法再高速往复运动中确保精度，从而影响精度。
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